用于检测结构变化的X射线散射系统和方法

摘要

本公开涉及用于检测结构变化的X射线散射系统和方法。本公开的实施例提供用于检测结构的一个或多个热和/或机械属性的系统和方法。该方法可包括由形成结构的材料形成一个或多个测试结构；生成并存储从一个或多个测试结构确定的校准数据；将X射线辐射发射到结构中；检测来自结构的X射线散射；以及基于所检测的X射线散射和校准数据确定结构的一个或多个属性。