在激光再封闭时有针对性地控制吸收特性

摘要

本发明提出一种用于制造微机械构件的方法，该微机械构件具有衬底和与衬底连接并且与衬底包围第一空穴的罩，其中，在第一空穴中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，‑在第一方法步骤中，在衬底或在罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，其中，‑在第二方法步骤中，调节在第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，其中，‑在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量或热量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，其特征在于，通过调节吸收部分的延伸尺度并且通过调节在吸收部分中的吸收强度以使在衬底或罩中出现的应力最小化，来进行能量或热量的引入。