一种极薄带表面制备精细坐标网格的方法

摘要

一种极薄带表面制备精细坐标网格的方法，其包括以下步骤：准备坯料；匀胶处理；固化处理；曝光处理；显影处理及加强固化。本发明将光刻工艺引入到精密网格制备过程中，旨在克服现有制备网格方法具有线径比较粗，线条边界不清晰的共同缺点。通过该方法制备线径在5‑20μm，线条边界清晰的网格，为研究金属微小塑性变形提供准确的方法。