一种类单晶硅锭及其制备方法和一种类单晶硅铸锭炉

摘要

本发明公开了一种类单晶硅锭的制备方法，包括：在坩埚内铺设籽晶形成籽晶层；在籽晶层上方设置熔融状态的硅熔体，控制坩埚底部温度低于籽晶的熔点，使得籽晶层不被完全熔化；调节热场形成过冷状态，使硅熔体在籽晶层的基础上开始长晶；长晶过程中，以1转/分钟‑60转/分钟的搅拌速度持续或间断地搅拌硅熔体；待全部硅熔体结晶完后，经退火冷却得到类单晶硅锭。本发明提供的类单晶硅锭的制备方法，通过在长晶过程中搅拌硅熔体，增强硅熔体的对流，这样可以减少金属杂质进入类单晶硅锭中，减少杂质的富集，提高硅锭的少子寿命，也提高了铸造类单晶的单晶面积。本发明还提供了采用该制备方法制得的类单晶硅锭，本发明还提供了一种类单晶硅铸锭炉。