用于超大规模集成电路设备的经优化的波长光子发射显微镜

摘要

一种用于对半导体设备(DUT)进行发射测试的方法，通过：将DUT安装到发射测试器的测试工作台上，所述发射测试器具有光学探测器；将DUT电连接至电测试器；将电测试信号施加至DUT，同时保持测试参数恒定；将光学滤波器插入到发射测试器的光学路径中，并收集来自光学探测器的发射测试信号；将光学滤波器从光学路径中移除，并收集来自光学探测器的发射测试信号。比较在有和没有滤波器的情况下所获得的图像。滤波器可以是：短通的以获得发射信号、带通的以用于检测正向偏置、或者长通的以获得热信号。