一种MSM光电检测装置及其驱动方法、X射线探测器

摘要

本发明提供一种MSM光电检测装置及其驱动方法、X射线探测器，涉及光电探测技术领域，用于提升MSM光电检测装置的信噪比。该装置包括：包括：多个检测单元，任一检测单元包括：至少一个第一MSM结构、至少一个第二MSM结构、第一控制单元、第二控制单元、第三控制单元、阈值比较单元以及储能单元；第一控制单元用于控制输出/复位信号端与第一节点导通或断开；第二控制单元用于控制第一节点与第二MSM结构导通或断开；阈值比较单元用于输出导通控制信号或关断控制信号；第三控制单元用于在阈值比较单元输出的控制信号的控制下将第一节点与第二MSM结构导通或断开；储能单元用于存储电荷。本发明用于MSM光电检测装置的制造。