高击穿电压氮化镓功率材料的外延方法

摘要

一种高击穿电压氮化镓功率材料的外延方法，所述外延方法包括：提供衬底；在所述衬底表面形成缓冲层；对所述缓冲层进行离子注入，使所述缓冲层与衬底之间的界面态绝缘化；在所述缓冲层表面形成氮化镓层。上述外延方法能够降低形成的氮化镓基功率器件缓冲层和衬底之间的界面缺陷态，减小漏电流，提高器件击穿电压特性。