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一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉

摘要

本发明公开供一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉,生长炉加热器,包括环形基筒、加热环以及电机,加热环设置在环形基筒的内壁上,且加热环通过导线与炉体外部的加热元件电源和控制器连接,炉体的炉盖上对称设置有两个电机,电机与控制器通过导线连接,电机的输出轴上绕设有提拉线,提拉线的下端穿过炉体并与环形基筒的上端固定连接。本发明的蓝宝石晶体生长炉为较为环保的低能耗生长炉,生长炉内的加热器可灵活调节,并且长晶炉还配有换热器,换热器用于保护气和冷却循环水之间的热量交换,利用冷却循环水的热量使充入炉体内的保护气升温,带有热量的保护气进入炉体内,能进一步提高炉内的保温效果,实现了坩埚冷却循环水热量的重新利用。

著录项

  • 公开/公告号CN106835278A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-06-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 许昌天戈硅业科技有限公司;

    申请/专利号CN201710024371.7

  • 发明设计人 蔺崇召;姚刚;孙占喜;李吾臣;

    申请日2017-01-13

  • 分类号C30B29/20;C30B15/20;C30B15/14;C30B15/10;

  • 代理机构洛阳公信知识产权事务所(普通合伙);

  • 代理人时国珍

  • 地址 461700 河南省许昌市襄城县城北产业集聚区

  • 入库时间 2023-06-19 02:30:15

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-01-10

    专利权的视为放弃 IPC(主分类):C30B29/20 放弃生效日:20200110 申请日:20170113

    专利权的视为放弃

  • 2017-07-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B29/20 申请日:20170113

    实质审查的生效

  • 2017-06-13

    公开

    公开

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