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公开/公告号CN106816532A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-06-09
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江大学;
申请/专利号CN201710025115.X
发明设计人 吴刚;张欣茜;陈红征;
申请日2017-01-13
分类号H01L51/42(20060101);H01L51/48(20060101);
代理机构33200 杭州求是专利事务所有限公司;
代理人张法高;傅朝栋
地址 310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
入库时间 2023-06-19 02:28:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-27
授权
2017-07-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/42 申请日:20170113
实质审查的生效
2017-06-09
公开
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