一种多层薄膜的制备及其结合性能评价的方法

摘要

本发明公开了一种多层薄膜制备及结合性能评价方法，由H13基体经过非平衡离子溅射镀膜工艺分别沉积Cr结合层、CrN过渡层和CrMoAlN功能层制得Cr‑CrN‑CrMoAlN多层薄膜；设置Cr靶电流4A，Al靶电流6A，Mo靶电流设定在0~6A，偏压‑75V，Cr结合层沉积360s，CrN过渡层沉积600s，CrMoAlN功能层沉积3600s；经过多功能划痕仪进行划痕实验；光共聚焦扫描显微镜获得薄膜表面划痕形貌评估其结合性能。所制备的多层薄膜呈梯度结构，Cr层打底提高薄膜的结合性；CrN作为过渡层加强薄膜的承载力；CrMoAlN作为功能层能够提高薄膜的耐高温及耐摩擦性能。同时本发明采用划痕法表征由于Mo含量不同导致薄膜的结合性能上的差别。