一体式直圆型柔性铰链光纤光栅加速度传感器

摘要

本发明公开了一体式直圆型柔性铰链光纤光栅加速度传感器，包括传感器芯体和光纤构成，传感器芯体由基座、两个柔性铰链和两个惯性质量块构成，两个惯性质量块和两个柔性铰链对称分布在传感器芯体两侧，惯性质量块通过柔性铰链与基座连接，两个惯性质量块顶部有光纤沟槽，光纤穿过两个惯性质量块的光纤沟槽，从两边壳体的孔中出来，光纤在两个惯性质量块中间设有光纤光栅，柔性铰链为直圆型柔性铰链，两个惯性质量块绕着柔性铰链发生相对位移，从而使光纤光栅产生应变。本发明为一体化结构，体积小易于封装，结构简单，减少了传感器的封装体积和封装工序，具有较高的频率测量范围，一体化结构增大传感器的谐振频率，提高了传感器的灵敏度。