公开/公告号CN106768487A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-05-31
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201710029842.3
申请日2017-01-16
分类号G01K15/00;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人任岩
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2023-06-19 02:20:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G01K15/00 申请日:20170116
实质审查的生效
2017-05-31
公开
公开
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