一种基于色散共焦光谱法的表面粗糙度测量系统及其方法

摘要

本发明公开了一种基于色散共焦光谱法的表面粗糙度测量系统及其方法，其特征是包括：横向位移控制单元、信号发生与信号处理单元和光栅测量单元；横向位移控制单元包括：音圈电机定子、音圈电机动子、弹簧、音圈电机动子定位块、色散共焦测头夹持装置、色散共焦测头、调整旋钮、平台底板、固定板、滑块和导轨；信号发生与信号处理单元包括：光纤、光纤耦合器、宽光谱光源、光谱仪、光栅采集卡、音圈电机电源；光栅测量单元包括：光栅读数头和光栅主尺。本发明能实现多种场合快速高精度的表面粗糙度测量，从而提高测量精度和效率。