微纳定位系统及其对柔顺机构平台的全闭环在线控制方法

摘要

本发明公开了一种微纳定位系统及其对柔顺机构平台的全闭环在线控制方法，该系统由精密定位系统和计算机微视觉系统两部分组成，精密定位系统由按顺序依次相接的第一计算机、dSPACE控制器板、压电陶瓷控制器、压电陶瓷驱动器组成，所述计算机微视觉系统由变焦显微系统、CCD相机、第二计算机、精密定位载物台、运动控制卡组成，其中所述计算机微视觉系统的第二计算机是通过RS232串口与dSPACE控制器板相连接，所述压电陶瓷控制器是通过数字模拟转换器DAC接口和模拟数字转换器ADC接口与dSPACE控制器板相连接，所述压电陶瓷驱动器用于连接驱动柔顺机构平台。本发明的结构紧凑、抗干扰能力强、具有高分辨率，能够实现对多自由度柔顺机构平台全闭环实时在线控制。