一种介质柱型光子晶体波导与微腔耦合的温度传感器

摘要

一种介质柱型光子晶体波导与微腔耦合的温度传感器，涉及温度传感器。设有光子晶体T型波导、4个L3型微腔和4个线型波导；光子晶体T型波导输入端用于射入光源，光子晶体T型波导输出端分别与4个L3型微腔耦合，4个L3型微腔具有不同的谐振频率，并分别产生4个不同的谐振波峰，4个L3型微腔的不同谐振频率的光耦合进入对应的4个线型波导中，4个线型波导通过探测器接收到4个不同的谐振波峰的透射谱。体积小，易于集成；T型波导与微腔的耦合使温度感知区域之间存在距离，减小不同区域内的温度串扰；通过透射谱的谐振波峰偏移检测温度变化，灵敏度高；实现温度传感阵列，可应用于片上实验室或片上系统中不同微小区域的温度实时测量。