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公开/公告号CN106646542A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-05-10
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201611239526.0
发明设计人 张超逸;曾丹丹;李金海;孙金海;阎跃鹏;
申请日2016-12-28
分类号G01S19/24(20100101);G01S19/30(20100101);G01S19/29(20100101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人王宝筠
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2023-06-19 02:05:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G01S19/24 申请日:20161228
实质审查的生效
2017-05-10
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