一种数字光栅与物理光栅相结合微小物体表面三维测量系统

摘要

本发明是一种数字光栅与物理光栅相结合微小物体表面三维测量系统，由计算机、准直激光束、数字微镜阵列（DMD）、数字光栅、物理光栅、三个透镜组、待测物体、载物台、CCD图像探测器组成。计算机生成明暗相间图形传输到DMD，准直激光束照射DMD反射后通过一透镜组生成数字光栅，然后通过二透镜组到达载物台上待测物体表面,经待测物体调制后的数字光栅像通过二、三透镜组成像于物理光栅表面，数字光栅像与物理光栅以一定间隙重叠，发生多次衍射，形成放大的莫尔干涉条纹，然后成像于CCD图像探测器上，通过计算机进行图像采集与处理，即可获得待测物体的三维信息。本发明精度高、操作简单、抗干扰能力强，具有很高的应用价值。