一种真空环境下的薄膜磁性表征仪器

摘要

本发明一种真空环境下的薄膜磁性表征仪器，包括：超快激光器、多个半反半透镜、时间延迟线、多个反射镜、偏振分光棱镜、倍频器、两个滤光片、至少一个直角棱镜、斩波器、光学聚焦透镜组、维样品支架、密闭真空腔体、真空泵组、1/2玻片、分光棱镜、光电二极管、锁相放大器、磁铁、恒温装置、平移台、成像装置。本发明通过实现磁性薄膜制备过程中的原位表征，提高测量效率及精度。通过配备可高达五维的多维样品调节装置，辅以样品平移台，获得成像效果。泵浦、探测光束的共轴垂直入射简化了光路，降低了光路调节难度。除此之外，本发明可使样品在真空腔内部进行磁性表征，避免空气或水汽对其的污染。