法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-28
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J65/04 申请公布日:20170329 申请日:20150917
发明专利申请公布后的视为撤回
2017-04-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J65/04 申请日:20150917
实质审查的生效
2017-03-29
公开
公开
机译: 烧结微波炉例如基于二氧化铀的核燃料芯块,在谐振腔中具有沟槽状加热元件,并可通过谐振腔中普遍存在的微波进行加热
机译: 为了沉积微波等离子体CVD,将微波有效地同轴输送到模式稳定的谐振腔中的方法
机译: 为了沉积微波等离子体CVD,将微波有效地同轴输送到模式稳定的谐振腔中的方法