Nd:YAG晶体及其表面抛光方法

摘要

本发明涉及一种Nd:YAG晶体及其表面抛光方法。本发明提供的Nd:YAG晶体表面抛光方法，包括步骤：步骤S1、对Nd:YAG晶体表面进行超声波清洗，烘干，去除所述Nd:YAG晶体表面的杂质；步骤S2、在真空中利用低能离子束对步骤S1所得样品溅射刻蚀，控制低能离子束在晶体表面以均匀的速度和等量步距进行扫描。该方法无机械抛光应力，抛光过程在真空中进行且不使用抛光粉等辅助材料，可有有效的减少表面微划痕、亚表面损伤等加工缺陷，改善表面粗糙度，提高表面质量，进而提高晶体在高能激光应用中的损伤阈值。