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一种产生辉光放电条纹的装置及方法

摘要

本发明涉及一种产生辉光放电条纹的装置及方法,属于辉光放电技术领域。本发明主要解决现有技术存在的结构复杂、稳定性差、电子密度和电子温度呈无规律分布、在应用过程中无选择性的技术问题。本发明的技术方案是:一种产生辉光放电条纹的装置,包括直流电源、阳极、阴极和工作台,其中:还包括辉光放电腔,所述辉光放电腔的一侧壁设置有氩气进气口,所述辉光放电腔的另一侧壁设置有抽真空口和真空度测试仪;所述阳极和阴极的一端穿过辉光放电腔的两侧壁设置在辉光放电腔中,且阳极和阴极一端的端头分别设置有相互平行的板状电极;所述阳极的另一端与直流电源的正极相连,所述阴极的另一端与直流电源的负极和绝缘棒连接,绝缘棒与千分尺连接。

著录项

  • 公开/公告号CN106531596A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-03-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 山西大学;

    申请/专利号CN201611056746.X

  • 发明设计人 朱海龙;董有尔;

    申请日2016-11-25

  • 分类号H01J17/06(20060101);H01J17/40(20060101);

  • 代理机构山西五维专利事务所(有限公司);

  • 代理人雷立康

  • 地址 030006 山西省太原市小店区坞城路92号

  • 入库时间 2023-06-19 01:51:07

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-08-28

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J17/06 申请公布日:20170322 申请日:20161125

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2017-04-19

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J17/06 申请日:20161125

    实质审查的生效

  • 2017-03-22

    公开

    公开

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