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一种提升金属氧化物半导体气敏传感器灵敏度的方法

摘要

本发明提供了一种采用快速降温测试模式提升金属氧化物半导体气敏传感器灵敏度的方法,属于气敏传感器技术领域。首先在不同工作温度下,分别测试纯SnO

著录项

  • 公开/公告号CN106442643A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-02-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国石油大学(华东);

    申请/专利号CN201610807566.4

  • 发明设计人 熊雅;鲁文博;丁德恭;朱纵野;

    申请日2016-10-26

  • 分类号G01N27/12;

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 266580 山东省青岛市黄岛区长江西路66号

  • 入库时间 2023-06-19 01:41:15

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-04-23

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N27/12 申请公布日:20170222 申请日:20161026

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2017-03-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N27/12 申请日:20161026

    实质审查的生效

  • 2017-02-22

    公开

    公开

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