可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法

摘要

可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法，本发明属于参考球面波超高精度检测方法领域，克服了哈特曼波前传感器对波前微小偏差检测的限制，能够实现波前的高精度检测。光路包括：一束入射会聚光波，一块光栅，一个沿正交方向开有三个圆孔的小孔板，一个电荷耦合器，该电荷耦合器的输出端接计算机。一束入射会聚光波经过光栅衍射后，被分成若干个衍射级，让±1级衍射光分别通过两个小孔，由小孔衍射后产生近于理想的球面波，两个球面波发生剪切干涉，在CCD探测器上记录干涉图，采集到干涉图后便可获得衍射波前的偏差。本发明在可见光波段，通过双孔衍射产生的球面波进行剪切干涉，从而实现衍射波前的高精度检测。