竖直光学元件表面损伤的显微扫描成像采集装置及方法

摘要

本发明公开了一种竖直光学元件表面损伤的显微扫描成像采集装置和方法。该装置包括：二维扫描运动平台、一维调焦轴、自动变倍显微镜头、面阵彩色CCD、同轴光源、环形光源、色散共焦位移传感器、系统控制器、工控机、隔震平台和显示器。该装置能够自动采集、存储图像，能够自动完成图像拼接，具备图像分析能力，能够统计图像中损伤点的数量和尺度。本发明能够实现光路中竖直放置光学元件表面的在线快速高精度显微扫描成像采集和损伤检测，具有广泛的应用前景和可观的社会经济效益。