去膜装置以及使用该去膜装置的去膜方法

摘要

本发明涉及一种去膜装置。该去膜装置包括基底、托盘及吸气装置。该托盘能够拆卸地设置在该基底的一表面上并与该基底共同形成一抽气空间。该吸气装置设在该基底的一侧壁并与该抽气空间连通，该托盘开设有多个通孔，该多个通孔与该吸气装置相导通，该吸气装置用于朝该吸气空间内吸气以将待去膜产品固定在该托盘上。本发明还涉及一种使用该去膜装置的去膜方法。