公开/公告号CN106270526A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-01-04
原文格式PDF
申请/专利权人 张家港市港威超声电子有限公司;
申请/专利号CN201610854628.7
发明设计人 李新成;
申请日2016-09-28
分类号B22F3/24;B08B3/12;B08B13/00;F26B15/12;F26B21/02;
代理机构苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司;
代理人赵丽丽
地址 215618 江苏省苏州市张家港市欧洲工业园
入库时间 2023-06-19 01:13:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-01
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B22F3/24 申请公布日:20170104 申请日:20160928
发明专利申请公布后的驳回
2017-02-22
实质审查的生效 IPC(主分类):B22F3/24 申请日:20160928
实质审查的生效
2017-01-04
公开
公开
机译: 基板清洗/干燥设备和包括该基板清洗/干燥设备的基板处理设备,基板清洗/干燥方法和显示面板的制造方法
机译: 基板清洗方法,基板清洗干燥方法,基板清洗装置以及基板清洗干燥装置
机译: 晶片的清洗和干燥方法,晶片的干燥方法,晶片的清洗/干燥设备,晶片的干燥设备,用于CMP的方法和设备以及制造半导体设备的方法