光散射式灰尘浓度计以及灰尘浓度的测定方法

摘要

提供一种即便是低流速的废气也能进行测定的光散射式灰尘浓度计，即便烟道内的浑浊废气的流动是低速的，该光散射式灰尘浓度计也能连续且正确地，此外还能长期地在烟道内直接测定浑浊废气中的灰尘浓度。该灰尘浓度计在烟道内直接测定浑浊废气中的灰尘浓度，其由气化装置、鼓风机构等构成，其中，所述气化装置在所述烟道内将测定对象浑浊废气分离之后，使测定对象浑浊废气中的薄雾气化，所述鼓风机构使气帘形成于气化装置下游，该气帘将维持薄雾经由气化装置而气化的状态的区域和未经由气化装置的浑浊废气分开，在所述气帘内对被去除了薄雾后的灰尘反射后的散射光进行检测，以求出浑浊废气中的灰尘浓度。

说明书

技术领域

本发明涉及一种灰尘浓度计，更详细而言，涉及一种即便是低流速的废气也能进行测定的光散射式灰尘浓度计以及灰尘浓度的测定方法，即便浑浊废气的流动是低速的，也能直接在烟道内连续且正确地、另外还能长期地对烟道内处于露点以下使薄雾(液滴粒子)与灰尘(固体粒子)吸附、共存而浑浊的浑浊废气中的灰尘浓度进行测定。

背景技术

在从各种工厂的烟道排出的废气中，大量地含有硫化物、氮氧化物等有害物质。因此，有义务在废气路径中设置脱硫装置、脱硝装置等废气处理装置。

另一方面，对于灰尘也设有规定的排出浓度限制。例如，在造纸工厂等中，上述废气处理装置中使用的薄雾成为白烟而从烟囱排出。看到该白烟的周边居民较多地朝工厂发出是不是排出了限制值以上的灰尘这样的抱怨、不安。

因此，在各种工厂中，需要正确地把握白烟是因为限制基准以上的灰尘排出而导致的还是因为薄雾导致的，并始终确认遵守了与灰尘排出相关的限制。

作为灰尘浓度计，目前已知有一种光散射式灰尘浓度计。目前的光散射式灰尘浓度计能连续地实时测定废气中的灰尘浓度，但在使用薄雾的废气的脱硫装置等的下游，废气变为露点以下的浑浊废气，与灰尘一起含有大量的薄雾，因此，因薄雾的影响而在原理上难以进行正确的灰尘浓度的测定。

另一方面，还公开了一种在烟道中设置采集浑浊废气的一部分的取样管(吸引通路)、并将废气导入至烟道外的检测室以测定薄雾的粒径分布的薄雾粒径测定装置(专利文献1)。

在专利文献1中记载的薄雾粒径分布测定装置在检测室4的上游端连续地用光学式传感器(光源6、集光透镜7、受光器10)测定灰尘和薄雾的粒径分 布，在该光学式传感器下游朝通过检测室4的浑浊废气照射加热光线(加热装置15、激光透镜16)以使薄雾气化，此外，在该照射部下游用光学式传感器(光源8、集光透镜9、受光器11)测定薄雾气化后的灰尘的粒径分布。此外，利用运算机12、13及比较解析器14对测定出的薄雾的气化前后的粒径分布进行比较，并连续地测定薄雾的粒径分布。

然而，根据专利文献1的薄雾粒径分布测定装置，尽管能测定薄雾的粒径分布，但不能测定灰尘浓度。另外，在该装置中，使用一定长度、小口径的取样管，因此，灰尘、薄雾沉淀、附着于取样管内，藉此，导致取样管堵塞，从而难以连续且正确地使从烟道排出的浑浊废气通过取样管而采集至检查室4。

因此，不能正确地测定从烟道排出的浑浊废气中的灰尘浓度，而且，不能进行长时间的测定。

因此，发明人发明了一种光散射式灰尘浓度计(专利文献2)，该光散射式灰尘浓度计并不使用用于将烟道内的浑浊废气的一部分采集至烟道外的检查室的取样管，而是能直接在烟道内连续且正确地、此外还长时间地测定浑浊废气中的灰尘浓度。

如图2所示，专利文献1的发明的光散射式灰尘浓度计1并不将在烟道6内薄雾10和灰尘11吸附、共存的浑浊废气吸引取样至上述烟道6外，而是在上述烟道6内直接测定上述浑浊废气中的灰尘浓度，光散射式灰尘浓度计1由瞬间加热器3、光照射器4、散射光检测器5、箱1a、运算装置12构成，其中，上述瞬间加热器3使加热光3a聚焦于上述烟道6内以形成使浑浊废气中的薄雾10气化的瞬间加热区域7，上述光照射器4朝上述瞬间加热区域7的上述浑浊废气的流动方向正下游照射波长与上述加热光3a不同的测量光4a，上述散射光检测器5对上述测量光4a被经由上述瞬间加热区域7的灰尘11反射而散射的散射光4b进行检测，上述箱1a沿着上述浑浊废气的流动方向在上述烟道6的同一侧面依次排列着上述瞬间加热器3、上述光照射器4、上述散射光检测器5而进行集中收纳，上述运算装置12以由上述散射光检测器5检测出的散射光强度为基础求出上述浑浊废气中的灰尘浓度，将上述箱1a连接至与上述烟道连接的连接管的一个凸缘。

此外，在专利文献2的申请时，在浑浊废气的流动较快的情况下，未实现瞬间气化，可以想象测定值受到了薄雾10的影响。因此，仅考虑了光散射式灰尘浓度计1的加热区域的长度及范围和加热量。

然而，即便在浑浊的废气的流速比10m/sec左右快的情况下，也能将水蒸气薄雾瞬间气化，能连续测定灰尘浓度。然而，在浑浊废气的流速比2m/sec左右慢的情况下，周围的浑浊废气会卷入散射光检测区域8，光散射式灰尘浓度计1的测定值受到了水蒸气薄雾的影响。

另外，在专利文献2申请时，插入至烟道6的内部的光散射式灰尘浓度计1处于高温，因此，考虑为浑浊废气中的水蒸气灰尘被加热而处于干燥状态，对于光散射式灰尘浓度计1的灰尘污染，未设置特别的防止机构。

然而，将光散射式灰尘浓度计1实际安装于有浑浊废气流动的烟道以进行反馈试验时发现，光散射式灰尘浓度计1的浑浊废气入口附近因导入有低温浑浊废气而未变成高温。因此，水蒸汽化的薄雾10在光散射式灰尘浓度计1的入口附近冷凝并作为排泄水加以积存，从而能预见灰尘11的附着及成长。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开昭64－15634号公报

专利文献2：日本专利特许第5453607号公报

发明内容

因此，本发明提供一种即便是低流速的废气也能进行测定的光散射式灰尘浓度计及灰尘浓度的测定方法，该光散射式灰尘浓度计并未使用用于将烟道内的浑浊废气的一部分采集至烟道外的检查室的取样管，而是即便浑浊废气的流动为低速，也能直接在烟道内连续且正确地、此外还长时间地测定浑浊废气中的灰尘浓度。此外，其目的还在于提供一种防止在浑浊废气朝气化装置引入的引入口侧产生薄雾冷凝后的排泄水、防止灰尘附着的光散射式灰尘浓度计以及灰尘浓度的测定方法。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明的第一技术方案的即便是低流速的废气也能进行测定的光散射式灰尘浓度计，并未将在烟道内薄雾和灰尘吸附、共存的浑浊废气吸引取样至所述烟道外，而是在所述烟道内直接测定浑浊废气中的灰尘浓度，其特征在于，由气化装置、鼓风机构、光照射器、散射光检测器、运算装置构成，其中，所述气化装置在所述烟道内将测定对象浑浊废气分离之后，使所述测定对象浑浊废气中的薄雾气化，所述鼓风机构将气帘形成于所述气化装置下游，该气帘将维持薄雾经由所述气化装置而气化的状态的区域和未经由所述气化装置的所述浑浊废气分开，所述光照射器朝在所述气帘内所述薄雾气化的区域照射光，所述散射光检测器对所述光被去除薄雾后的灰尘反射而形成的散射光进行检测，所述运算装置基于由所述散射光检测器检测出的散射光强度求出所述浑浊废气中的灰尘浓度。

本发明第二技术方案的即便是低流速的废气也能进行测定的光散射式灰尘浓度计是在本发明第一技术方案的基础上，其特征在于，所述气化装置由内筒、护套加热器及第一容器构成，其中，所述内筒在内部包括通路且左右侧面开口，该通路供测定对象浑浊废气沿着所述烟道内的浑浊废气流而通过，所述护套加热器卷绕于所述内筒的外周，所述第一容器收纳所述内筒及护套加热器，所述第一容器固定于所述烟道内部。

本发明第三技术方案的即便是低流速的废气也能进行测定的光散射式灰尘浓度计是在本发明第二技术方案的基础上，其特征在于，所述气帘由从所述第一容器始终朝浑浊废气流的下游侧喷出的空气形成。

本发明第四技术方案的即便是低流速的废气也能进行测定的光散射式灰尘浓度计是在本发明第二技术方案或第三技术方案的基础上，其特征在于，所述光照射器及散射光检测器收纳于与所述第一容器相连设置的第二容器，在所述第二容器的上方形成有所述气帘。

本发明第五技术方案的即便是低流速的废气也能进行测定的光散射式灰尘浓度计是在本发明第一技术方案至第四技术方案中任一技术方案的基础上，其特征在于，朝所述气化装置的浑浊废气的引入口侧喷出间歇的鼓风。

本发明第六技术方案的即便是低流速的废气也能进行测定的尘浓度的测 定方法，并未将在烟道内薄雾和灰尘吸附、共存的浑浊废气吸引取样至所述烟道外，而是在所述烟道内直接测定所述浑浊废气中的灰尘浓度，其特征在于，在所述烟道内将测定对象浑浊废气分离之后，使所述测定对象浑浊废气中的薄雾气化，形成将维持薄雾经由所述气化装置而气化的状态的区域和所述浑浊废气分开的气帘，朝在所述气帘内维持薄雾气化状态的区域照射光，对所述光被去除薄雾后的灰尘散射的散射光进行检测，由检测出的散射光强度求出所述浑浊废气中的灰尘浓度。

此处，烟道是指用于排出废气的通路，浑浊废气是指如湿式的净气器的出口那样烟道内处于露点以下而使灰尘和薄雾共存、吸附并浑浊的废气。

气化装置是指利用护套加热器等加热器加热、照射光等加热光以使薄雾蒸发或通过激励、减压其他方法使烟道内的薄雾气化的装置，能例示出加热装置等。将薄雾被气化的区域称为加热区域。

加热光是指红外线加热器的辐射热、激光发生器中生成的激光等加热源，能直接聚集于烟道内的一部分区域，以在烟道内形成瞬间加热区域。在瞬间加热区域中，浑浊废气中的薄雾瞬时气化，从灰尘分离、扩散而从瞬间加热区域中去除。其他，作为加热源，也能例示出微波等。

作为使加热光聚集的手段，例如，能例示出在红外线加热器的辐射热中，利用透镜、凹面镜，在激光器的加热光中，使用多个小输出的加热光并集中于焦点，以直接聚集于烟道内的一部分区域的方法。

作为加热光的生成装置的一例，例如可例示出能(可)进行1400℃为止的加热的风太科(公司名：フィンテック(fintech))制点集光型加热器HSH等。若是这种装置，则也能控制加热光的聚集位置、加热区域的体积、加热温度。藉此，能在烟道内形成极小体积的瞬间加热区域。

作为加热温度，薄雾能可靠地气化而灰尘不燃烧的温度区域例如100℃～500℃左右是较为理想的。若是该范围，则能测定出更正确的灰尘浓度。

另一方面，通过使用护套加热器以作为加热源，比起利用使用了集光透镜的加热光的瞬间气化，能进行更长时间的连续加热。在该情况下，需要防止与水分较多的浑浊废气直接接触的电源配线端子的绝缘不良。

例如，作为与浑浊废气隔离而间接地进行加热的加热方法，能例示出绕着供浑浊废气流过的管螺旋状地卷绕护套加热器，此外覆盖护套加热器，使浑浊废气不与护套加热器直接接触的结构。在该情况下，较为理想的是，通过在护套加热器收纳部中装入热电偶并与温度调节计连接，以能进行护套加热器的温度设定及温度控制。通过设置热电偶，能与浑浊废气的温度及流速相应地进行最佳的温度设定，并且能防止护套加热器过热和提高寿命。

测量光是指从光照射器照射至刚经由(瞬间)加热区域之后的区域(在浑浊废气的流动方向正下游维持薄雾的气化状态的区域)的光。作为测量光，通过采用与加热光不同的波长，提高了散射光的检测精度。

此外，当仅使用规定的波长区域的光以作为测量光时，散射光也能作为特定波长的光被检测出，能高精度地检测出散射光，因此，是较为理想的。例如，通过使用全部以一定波长同步检测出的光而能获得，更具体而言，穿过仅使特定波长的光通过的光学滤波器照射而能获得。

散射光是指从光照射器照射至散射光检测区域的测量光因去除了薄雾之后的灰尘而散射的光。在刚经由加热区域之后的区域中，非加热区域的浑浊废气中含有的薄雾并不混入，加热区域即便是散射光检测区域也被维持，因此，散射光的光量(光强度)与灰尘浓度成比例。

散射光检测器是对因去除了薄雾之后的灰尘而散射的散射光的光量进行检测的装置。此外，例如，若预先作成灰尘浓度与散射光的光强度的比例关系的检测线，则能由上述检测线求出相对于检测出的散射光强度的灰尘浓度。另外，在未用光学滤波器同步检测出测量光的情况下，也可以仅使散射光的波长的光通过光学滤波器并用散射光检测器受光，以对散射光强度进行检测。

例如，作为光照射器、散射光检测器，能使用(株)田中电气研究所制DDM－HAL2的红外线LED(发光二极管)和光检测器(光电二极管)、日本专利特开平09－236545号公报中记载的光电式粒子浓度测定装置等。

运算装置是基于由散射光检测器检测出的光强度运算出浑浊废气中的灰尘浓度的装置，其是计算机等。作为运算方法，例如，预先作成灰尘浓度和散射光的光强度的比例式(一次式等)，存储于运算装置的存储部，将检测出的 散射光代入至比例式，从而求出灰尘浓度，并在显示器中以mg/m³_N的单位直接显示。

本发明采用上述结构，因此，不用设置用于采集浑浊废气的一部分的取样管，能使浑浊废气中的薄雾在烟道内气化，即便浑浊废气的流动是低速的，也能通过用气帘将测定对象浑浊废气的薄雾气化后的气流与未处理的浑浊废气分开、隔离，从而没有薄雾的影响，能基于散射光的光量，连续且正确地测定灰尘浓度。

除此之外，本发明的即便是低流速的废气也能进行测定的光散射式灰尘浓度计仅将气化装置和光学单元配置于烟道，因此，作业容易，且设置成本也便宜。

此外，不使用内径较小、长度较长的取样管，因此，没有取样管堵塞等问题，与现有技术相比，能在极其长时间的范围内无需维修且能正确地测定在烟道内流动的浑浊废气中的灰尘浓度。

附图说明

图1是本发明的即便是低流速的废气也能进行测定的光散射式灰尘浓度计的一实施方式的示意图。图1(A)是即便是低流速的废气也能进行测定的光散射式灰尘浓度计的正面部分截面示意图，图1(B)是左侧面示意图，图1(C)是右侧面示意图。

图2是现有的光散射式灰尘浓度计的截面示意图。

(符号说明)

1 光散射式灰尘浓度计

1a箱

1b凸缘

1c即便是流速的废气也能进行测定的光散射式灰尘浓度计

2 气化装置

2a第一容器

2b内筒

2c 通路

2d 第一流路

2e 空气放出孔

2f 倾斜

2g 第二流路

2h 空气放出口

2i 鼓风

2k 气帘

2m 第二容器

2n 块体

2p 垫圈

2q 第三流路

2r 盖

2s 间壁

3瞬间加热器

3a 加热光

3b 焦点

3c 护套加热器

3d 端子

3e 热电偶

4光照射器

4a 测量光

4b 散射光

5散射光检测器

5a 光纤

6烟道

6a 开口

6b 凸缘

6c 连接管

7瞬间加热区域

8散射光检测区域

9光学单元

10 薄雾

10a薄雾吸附灰尘

11 灰尘

12 运算装置

13 间歇鼓风机构

13a配管

13b阀

14 鼓风机构

14a配管

14b阀

具体实施方式

以下，根据附图，对本发明即光散射式灰尘浓度计进行详细说明。另外，本发明并不限定于下述实施例。

(实施例1)

图1是本发明的即便是低流速的废气也能进行测定的光散射式灰尘浓度计的一实施方式的示意图。测定原理是以下方式：在烟道6内，在浑浊废气流的上游侧配置气化装置2，以使薄雾10气化，并朝气化装置2的下游照射测量光4a，以光散射强度测定灰尘浓度。另外，图1中的左空心箭头是浑浊废气的流动方向，图1右侧是浑浊废气的上游，左侧是浑浊废气的下游。

如图1所示，本发明实施方式的一例即、即便是低流速的废气也能进行测定的光散射式灰尘浓度计1c包括气化装置2、光学单元9、运算装置12及用于输送空气的各种鼓风机构，其中，上述光学单元9包括光照射器4、散射光检测器5及收纳上述光照射器4、散射光检测器5的第二容器2m。此外，相对 于浑浊废气的从上游至下游的流动，气化装置2、光照射器4及散射光检测器5的光学单元9依次配置于烟道6内。

藉此，不用设置从烟道6朝外引出浑浊废气的取样管，即便浑浊废气的流动为低速(2m/sec以下)，也能不受薄雾10影响地，对烟道6内处于露点以下而灰尘11(小○)和薄雾10(大○)、薄雾吸附灰尘10a(双层○)共存的浑浊废气中的灰尘11的浓度进行检测。当然，浑浊废气的流动为高速(10m/sec左右)的情况下，也能进行测定。即，本发明是浑浊废气的全流速对应型。

气化装置2由第一容器2a、内筒2b、护套加热器3c、盖2r及间歇鼓风机构13构成。

第一容器2a在内部具有朝左右侧面开口的通孔，并从穿孔于烟道6的孔插入至烟道6的内部并加以固定。第一容器2a的浑浊废气的引入口侧即通孔的内侧的缘部的内侧成为被切除更多的倾斜2f。在内部内置有内筒2b及护套加热器3c，底面被盖2r封闭，并用盖2r与烟道6卡定，从而保持了盖2r与烟道6的气密性。

另外，在第一容器2a的靠浑浊废气的引入口侧的侧壁内部穿设有供间歇空气流过的第一流路2d，与许多穿设于上述缘部的半圆部分的倾斜2f的空气放出孔2e连通，用间歇空气使鼓风2i喷出。

利用鼓风2i使冷凝于浑浊废气的引入口侧的通孔的薄雾10干燥。通过将上述通孔的内侧设为倾斜2f，薄雾10及鼓风2i从第一容器2a流动至外侧。藉此，在第一容器2a的浑浊废气的引入口侧不会积存因薄雾10冷凝而成的排泄水。

此外，在第一容器2a的浑浊废气的出口侧的侧壁内壁穿设有始终供空气流过的第二流路2g，与沿着浑浊废气的出口侧的侧壁的端部穿设的空气放出口2h连通，以使空气朝浑浊废气流的下游方向喷出，并且将维持经由气化装置2而使薄雾10气化的状态的区域(气流)和未经由气化装置2的浑浊废气分开、隔离，以防止薄雾10混入散射光检测区域8，从而能不受薄雾10影响地形成用于对散射光4b进行检测的气帘2k。

如图1(A)所示，空气放出口2h以沿着第一容器2a的端部的U字型使 端部到达第二容器2m并以围住通路2c的方式即便散布有多个孔、也呈线条状地穿设有一个开口。即，气帘2k在第二容器2m上形成隔离空间。

即便浑浊废气的流动为低速，也能利用气帘2k防止非测定对象的浑浊废气的薄雾10、薄雾吸附灰尘10a混入散射光检测区域8，从而能不受薄雾10影响地对基于灰尘浓度的散射光4b进行检测。

另外，在采用气帘2k之前，为了将散射光检测区域8与浑浊废气分开、隔离，使金属性的筒延伸至气化装置2的下游，然后，利用光学单元9检测灰尘浓度，但测量光4a被盖反射，作为漫反射被散射光检测器5检测出，测定值发生变动。因此，作为盖的替代，通过始终使空气从气化装置2朝下游流动来形成气帘2k，成功地将气化区域与浑浊废气分开、隔离了。若是气帘2k，则不会有浑浊废气的混入，也不会有测量光4a的反射，从而能用散射光4b检测出正确的灰尘浓度。

内筒2b是在烟道6内包括与其他的浑浊废气分离并供测定对象浑浊废气流动的通路2c的金属制的筒，且以与第一容器2a的左右的开口一致的方式固定于第一容器2a的内部。在内筒2b的外周卷绕有护套加热器3c。在内筒2b的通路2c内，薄雾10因护套加热器3c的热量而气化。气化后的薄雾10从灰尘11分离，在一段期间内，薄雾10不会再吸附于灰尘11。

在气化装置2的浑浊废气流的正下游，因气帘2k的分开、隔离作用而不会产生非热区域的浑浊废气中含有的薄雾10的混入，此外，也不会因气化薄雾的冷凝而朝灰尘11再吸附，从而能维持仅有薄雾10气化而分离后的状态下的灰尘11存在的区域。

护套加热器3c卷绕于内筒2b的外周，通电端子3d位于第一容器2a(盖2r)的外部。护套加热器3c的外侧被间壁2s覆盖，防止与浑浊废气的接触，并且提高了热效率。为了测定、控制护套加热器3c的温度，在内筒2b与间壁2s之间配置了热电偶3e。

间歇鼓风机构13由空气供给源(未图示)、将上述空气供给源和第一流路2d连通的配管13a、以及设于配管13a的电磁阀13b构成。电磁阀13b根据计时器或存储于运算装置12的存储部的程序利用运算装置的CPU进行开闭控 制。例如，按CPU的指令按15分钟打开一次电磁阀13b，进行10秒钟的鼓风2i，使薄雾10的冷凝吹散或干燥，以防止灰尘11朝气化装置2的浑浊废气的引入口侧部分附着。

鼓风2i会对灰尘检测值产生影响，因此，CPU与鼓风2i的时刻连动，将鼓风2i刚开始之前的灰尘11的检测值存储于存储装置，在显示部中作为鼓风2i中的测定浓度加以显示，以消除对连续指示的影响。

光学单元9由位于第一容器2a的下游的第二容器2m、光照射器4、散射光检测器5、鼓风机构14构成。

第二容器2m在内部收纳有光照射器4及散射光检测器5，并相对于浑浊废气的流动位于气化装置2的下游。此处，第二容器2m与第一容器2a连续地形成，并被与第一容器2a共用的盖2r封闭。光照射器4及散射光检测器5被块体2n固定于第二容器2m内。在第二容器2m与块体2n之间存在垫圈2p，以保持气密性。

另外，在块体2n与光照射器4及散射光检测器5之间形成有连通到气帘2k内的第三流路2q，始终流动着空气，防止因薄雾10的冷凝而产生的排泄水积存于投光部及受光部、灰尘11附着、积聚于排泄水。

光照射器4将测量光4a作为扩散光照射至气化装置2的相对于浑浊废气流的位于下游的气帘2k内仅有灰尘11存在的区域的一部分(散射光检测区域8(图1中交差区域))，该测量光4a用于对作为灰尘浓度的测定基础的散射光4b进行检测。此时，只要照射以一定波长同步检测出的测量光4a即可。

散射光检测器5对测量光4a被经由气化装置2去除了薄雾10的灰尘11反射而散射出的散射光4b进行检测。

另外，尽管散射光检测区域8与未经由气化装置2的浑浊废气区域相邻，但由于被气帘2k切断，因此不会混合未经由气化装置2的浑浊废气，若照射以一定波长同步检测出的测量光4a，则因散射光检测区域8的灰尘11而散射的散射光4b和因未经由气化装置2的浑浊废气中的薄雾10、薄雾吸附灰尘10a而散射的散射光成为不同波长的散射光，因此，能利用散射光检测器5加以识别。

另外，即便从未经由气化装置2的邻接或混入的浑浊废气生成了与从散射光检测区域8产生的散射光4b相同波长的散射光，也是极其低量的，此外，散射光检测区域8的光强度极强，因此，能忽略来自上述浑浊废气的散射光的光量。

鼓风机构14由空气供给源(未图示)、将上述空气供给源和第二流路2g及第三流路2q连通的配管14a、以及设于配管14a的电磁阀14b构成。空气供给源是空气箱或抽气泵等。空气始终在第二流路2g及第三流路2q中流动，因此，电磁阀14b通常是开放的。当需要维修等时，励磁以关闭电磁阀14b。

运算装置12是根据散射光4b与灰尘浓度成比例的关系由散射光4b的光强度运算出灰尘浓度的装置。例如，若预先作成灰尘浓度与光量的比例关系的检测线，则能由上述检测线求出相对于检测出的散射光4b的光量的灰尘浓度。另外，运算装置12和散射光检测器5也可以为一体。此处，采用了运算装置12通过光纤5a接收散射光强度信号的方式。

工业上的可利用性

本发明的即便是低流速的废气也能加以测定的光散射式灰尘浓度计可简单且低成本地安装于现存的烟道。另外，由于是以下全流速对应型：即便浑浊废气的流动是低速的，也不会受到其他的薄雾的影响，能直接在烟道中连续且正确地仅对目前为止困难的露点以下的浑浊废气中的灰尘进行测定，因此，通用性、可靠性较高，能提供给对于浑浊废气是否超过基准值存在不安的住民作为证据。此外，也能灵活应用于白烟防止对策。因此，能期待在废气测定的技术领域、产业中较大地作出贡献。