法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-05
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01B21/18 申请公布日:20161221 申请日:20160826
发明专利申请公布后的视为撤回
2017-01-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B21/18 申请日:20160826
实质审查的生效
2016-12-21
公开
公开
机译: 深槽测量装置
机译: 一种评估碟形深槽结构欠蚀刻的方法和装置。
机译: 一种评估碟形深槽结构欠蚀刻的方法和装置。