法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-12-26
授权
授权
2009-10-14
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-08-19
公开
公开
机译: 金刚石被膜的研磨方法,金刚石被膜的切削工具以及金刚石被膜切削工具的制造方法
机译: 金属膜和金属膜被覆部件,金属氧化物膜和金属氧化物被膜覆盖部件,用于形成金属膜和金属氧化物被膜的薄膜形成装置以及薄膜形成方法
机译: 金属膜和金属膜被覆部件,金属氧化物膜和金属氧化物被膜覆盖部件,用于形成金属膜和金属氧化物被膜的薄膜形成装置以及薄膜形成方法