一种辉光放电质谱法检测金属中痕量杂质元素含量的方法

摘要

本发明提供了一种辉光放电质谱法检测金属中痕量杂质元素含量的方法。该方法包括以下步骤：(1)将金属样品加工成片状或针状，置于硝酸溶液中进行超声清洗，烘干；(2)将辉光放电质谱仪的样品仓抽真空，打开球阀，将金属样品推入离子源腔内，打开高压和辉光，通入工作气体，调节放电电压和放电电流，通过离子源调谐将分辨率调到3000～4800，基体峰强度为0.05～0.25V，预溅射30～80min；(3)选择金属基体和需测定的杂质元素，进行直流辉光放电质谱分析，得到金属痕量杂质元素的浓度。本发明无需研磨以及抛光按规格切割好的样品，只需清洗样品，预处理简单，能有效避免污染；固体直接进样，操作简单易行；对离子源进行有效调谐，灵敏度高，检测限低，分辨率高，可一次性分析主含量元素至ppt级的元素。