一种单次回返超低量程紫外分析仪及其分析方法

摘要

本发明公开了一种单次回返超低量程紫外分析仪及其分析方法，单次回返超低量程紫外分析仪包括外壳、温控器、固态继电器、光谱仪温控模块、低量程气体室模块和氧传感器，外壳下部的外侧安装有流量计，外壳内部的底端安装有HMI板，温控器安装在HMI板上方的外壳内，固态继电器安装在温控器的上方，光谱仪温控模块位于温控器和固态继电器的右侧，低量程气体室模块安装在光谱仪温控模块的上方。本发明使用深紫外波段对SO2、NO等进行检测，比可见光波段的灵敏度高一个数量级，而且经过一次反射，在不增加长度情况下增加了吸收光程，所以能够进行超低量程的测量，采用温控器和光谱仪温控模块，避免温漂带来的测试准确度低的问题，适用于测量0‑100ppm的量程组份。