公开/公告号CN106103379A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-11-09
原文格式PDF
申请/专利权人 住友金属矿山株式会社;
申请/专利号CN201580012927.X
申请日2015-03-09
分类号C04B35/00;C23C14/08;C23C14/34;C23C14/58;H01L21/20;H01L21/363;
代理机构隆天知识产权代理有限公司;
代理人李英艳
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 00:48:03
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-03
专利权的视为放弃 IPC(主分类):C04B35/00 放弃生效日:20190903 申请日:20150309
专利权的视为放弃
2016-12-07
实质审查的生效 IPC(主分类):C04B35/00 申请日:20150309
实质审查的生效
2016-11-09
公开
公开
机译: 使用溅射靶获得氧化物烧结体溅射靶和获得氧化物半导体薄膜
机译: 使用溅射靶获得氧化物烧结体溅射靶和获得氧化物半导体薄膜
机译: 氧化物烧结体,溅射靶以及使用该氧化物烧结体获得的氧化物半导体薄膜