一种基于气氛保护条件下的激光焊接封装装置

摘要

本发明公开了一种基于气氛保护条件下的激光焊接封装装置，尤其是一种基于特种气体保护或真空条件下的激光焊接封装装置，装置包括：移动小车、环境仓、激光视窗、前级真空泵、压差阀、三通、真空压力表、低阀、预阀、低真空测量传感器、主泵、主阀、过渡管道、不锈钢波纹管、充气阀、压力变送器、泄压阀、高真空测量传感器和固定轮，本装置可广泛用于半导体器件、光电转换器件、集成电路、超高马赫运动器件等需进行保护气氛下封装的产品，该设备可视化程度高、操作方便、性能稳定，能防止封装材料在空气中氧化，增加焊料的流动性，减少焊接时的气孔、夹渣等焊接缺陷，显著提高产品封装的气密性、强度和超高加速度(50G以上)的抗冲击性能，具有较高的社会和经济价值。