法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-17
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01S3/067 申请公布日:20161026 申请日:20160401
发明专利申请公布后的视为撤回
2016-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S3/067 申请日:20160401
实质审查的生效
2016-10-26
公开
公开
机译: 激光照射装置及激光喷丸处理方法
机译: 激光照射台,激光照射光学系统,激光照射装置,激光照射方法以及半导体装置的制造方法
机译: 激光照射台,激光照射光学系统,激光照射装置,激光照射方法以及半导体装置的制造方法