包括面积增加的接触件的半导体器件

摘要

本发明提供了包括面积增加的接触件的半导体器件。一种半导体器件包括多个有源图案，其从衬底突出并且在衬底上以第一距离和第二距离间隔开。多个选择性外延生长部分中的每一个生长在多个有源图案中的相应一个的上表面上。源极/漏极接触件延伸横跨多个选择性外延生长部分，以保持在多个有源图案中的第一有源图案的顶表面的上方，第一有源图案以多个有源图案中的第一有源图案之间的第一距离彼此间隔开，并且源极/漏极接触件包括延伸部分，该延伸部分朝着衬底延伸至多个有源图案中的两个有源图案的顶表面的下方，该两个有源图案以多个有源图案中的该两个有源图案之间的第二距离间隔开。