物体振动振幅的亚纳米分辨率相位共轭干涉测量装置

摘要

一种物体振动振幅的亚纳米分辨率相位共轭干涉测量装置，包括沿光源发射光束的前进方向上，依次置有第一透镜、第二透镜、分束器、偏振分束器、偏振变换器至被测物体。由被测物体第一次反射的带有斑纹噪音的光束经偏振分束器反射后，由第四透镜会聚至光折变晶体。光折变晶体产生的相位共轭光由偏振分束器反射到被测物体，被测物体反射的相位共轭光不再带有斑纹噪音。因此，无论是表面光滑或粗糙的被测物体，其振动振幅均可以亚纳米分辨率地检测。