一种扩散炉气体浓度及扩散方式的自动控制装置

摘要

本发明公开一种扩散炉气体浓度及扩散方式的自动控制装置，该装置包括顺序连接的压力控制部分、流量控制部分、气体扩散方式控制部分。在PLC控制器的控制下，实现将紊乱的涡流气体变成缓和的平流气体。本发明通过对气体浓度、扩散方式及压力的控制为反应提供了更加良好的环境，精确控制反应所需的气体浓度，减少原流量对反应的影响，稳定的气体环境充分提高了扩散方阻的均匀性，提高质量的成品率，更加符合目前产品要求。