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一种用于氧化锌纳米线及阵列生长的十字架（+）型激光烧蚀管式炉

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本发明公开了一种用于氧化锌纳米线及阵列生长的激光烧蚀十字架（+）型管式炉，包括靶材控制系统、载气流量控制系统、衬底加热系统、炉体、十字型石英管、真空获得与控制系统。本发明的激光烧蚀十字架（+）型管式炉具有高真空，靶材更换方便，实验方案灵活多变；能够实时掺杂，沉积速率可调等。（1）通过激光烧蚀十字架（+）型管式炉装置，可在蓝宝石衬底上生长高密度（10/μm

著录项

公开/公告号CN105947974A

专利类型发明专利
公开/公告日2016-09-21

原文格式PDF
申请/专利权人济南大学;
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申请/专利号CN201610283003.X
发明设计人曹丙强;邱智文;杨晓朋;
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申请日2016-05-03
分类号
代理机构济南誉丰专利代理事务所(普通合伙企业);
代理人李茜
地址 250022 山东省济南市市中区南辛庄西路336号
入库时间 2023-06-19 00:30:14

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-10-22

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B82B3/00 申请公布日:20160921 申请日:20160503

发明专利申请公布后的驳回
2016-10-19

实质审查的生效 IPC(主分类):B82B3/00 申请日:20160503

实质审查的生效
2016-09-21

公开

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