用于镍钛根管锉表面改性的钛锆氮化金属物膜的制备方法

摘要

用于镍钛根管锉表面改性的钛锆氮化物金属膜的制备方法，涉及一种金属膜的制备方法，该方法在镍钛根管锉表面镀覆一层TiZrN膜，能够有效抑制镍钛根管锉中的镍（Ni）离子向外扩散，确定了靶材成分、数量及配置方位，确定了商用高纯度钛锆合金靶作为弧源，确定了工件前处理工艺和沉积工艺，在基本保持镍钛根管锉原有弹性的基础上，提高了镍钛根管锉表面的硬度和抗腐蚀性，从而能有效提高镍钛根管锉的使用性能。保证了膜层表面的硬度、膜层厚度，有效抑制了镍钛根管锉中的镍（Ni）向外扩散，保持了镍钛根管锉的原有弹性，提高了镍钛根管锉表面的耐腐蚀性。