工艺腔体氧气浓度检测系统以及工艺腔体氧气浓度检测方法

摘要

本发明提供了一种工艺腔体氧气浓度检测系统以及工艺腔体氧气浓度检测方法。根据本发明的工艺腔体氧气浓度检测系统包括：前级管道、三通阀、质量流量控制器以及氧气浓度侦测器；其中，前级管道将来自工艺腔体的气体接通至三通阀的第一输入端，质量流量控制器安装在三通阀的第二输入端处，而且三通阀的第二输入端接收用于使自工艺腔体的气体的温度降低的氮气，三通阀的输出端连接至氧气浓度侦测器。