基于感应电荷反馈的压电驱动电源及控制方法

摘要

本发明涉及一种基于感应电荷反馈的压电陶瓷驱动电源及控制方法，通过对叠堆式压电驱动器两端附加上下两层电极板，在压电驱动器运行时感生出与压电驱动器表面电荷量呈线性关系的感应电荷；通过测量感应电荷确定压电驱动器上的电荷量，根据压电驱动器输出位移与其上电荷量的线性关系进一步进行电荷反馈，从而有效地控制输出位移的精确性。本发明对压电驱动器的输出位移进行有效的线性控制，无需通过位移传感器进行位移反馈，提高了经济效益，能够有效地应用于微、纳米级别的精密驱动技术领域。