一种基于多层膜的高光谱成像仪中滤光片阵列制备方法

摘要

本发明公开了一种基于多层膜的高光谱成像仪中滤光片阵列制备方法，通过使用在特定的位置开有多个孔的镀膜掩膜模具，来实现滤光片阵列的制备。首先将制备好的一种镀膜掩膜模具置于目标基底之上，并在该种掩膜模具上镀上一种透过率的膜，在该镀膜掩膜模具特定开孔位置上，这种透过率的膜会透过镀膜掩膜模具的开孔镀在目标基底上相应的像元上，通过依次更换镀膜掩膜模具并重复上述过程，从而最终在目标基底上制备出所需的滤光片阵列。此方法简单易行，在制备高光谱成像仪中滤光片阵列时有效防止了不同透过率滤光片之间的串扰，具有良好的可操作性。