放射线成像装置、其制造方法和放射线检查装置

摘要

本申请涉及放射线成像装置、其制造方法和放射线检查装置。一种放射线成像装置包括其上排列多个传感器的传感器面板、被布置在基底部件上方并由碱卤化物制成的闪烁体和被配置为抑制闪烁体的潮解的保护膜，其中保护膜包括：覆盖闪烁体的侧面和闪烁体的在与基底部件相对的一侧上的端部的第一部分和在氟含量上小于第一部分并覆盖第一部分的表面的至少一部分的第二部分。