等离子体未点火状态检测装置和等离子体未点火状态检测方法

摘要

在基于反射波的等离子体的未点火状态的检测中，防止正常的等离子体点火时的误检测，检测等离子体异常时的未点火状态。在从高频电源通过脉冲驱动对等离子体负载供给脉冲输出时，根据反射波的持续状态来进行等离子体异常时的未点火状态的检测，由此，与在正常点火状态下产生的反射波相区别地检测等离子体异常时的未点火状态下产生的全反射波。由此，在基于反射波的波高值与阈值的比较的未点火状态的检测中，能够防止将正常的点火状态下产生的反射波误检测为异常的未点火状态下产生的全反射。