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利用拉曼光谱测量非化学计量比氧化膜微区应力的方法

摘要

本发明公开一种利用拉曼光谱测量非化学计量比氧化膜微区应力的方法,包括:(1)在无应力条件下,利用拉曼光谱对不同化学计量比粉体材料进行测量,建立特征拉曼峰强比R与晶格振动峰位ω

著录项

  • 公开/公告号CN105698984A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-06-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国工程物理研究院材料研究所;

    申请/专利号CN201610018278.0

  • 申请日2016-01-12

  • 分类号G01L1/24;

  • 代理机构成都君合集专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人王育信

  • 地址 621700 四川省绵阳市江油市华丰新村9号

  • 入库时间 2023-12-18 15:41:19

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-08-23

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01L1/24 申请公布日:20160622 申请日:20160112

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2016-07-20

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01L1/24 申请日:20160112

    实质审查的生效

  • 2016-06-22

    公开

    公开

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