微纳米三坐标测量机接触式扫描探头

摘要

本发明公开了一种微纳米三坐标测量机接触式扫描探头，其特征是在探头壳体中设置测头单元和测量单元；测头单元是以悬浮片(5a)在底座(6)的内腔中形成悬浮结构，在悬浮片的中心通孔中固定安装带有测球的探针，探针自底座的底部端口中探出，并且能够不受底座的底部端口的干扰而摆动；测量单元是设置在悬浮片的各悬臂上的电容传感器；本发明利用电容传感器的输出信号作为探头的检测信号，能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果，同时具有高稳定性和低成本的优势。