法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-08
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C08J7/18 申请公布日:20160629 申请日:20150916
发明专利申请公布后的驳回
2016-07-27
实质审查的生效 IPC(主分类):C08J7/18 申请日:20150916
实质审查的生效
2016-06-29
公开
公开
机译: 一种超导薄膜的表面电阻的测量方法,一种超导薄膜的表面电阻的测量方法,一种超薄薄膜共振电路的Q值的测量方法,一种用于超导薄膜的超导体的表面电阻的测量方法以及一种方法
机译: 一种用于在衬底上预先修饰薄膜的主表面的光掩膜的制造方法以及一种光掩膜的制造方法
机译: 一种消除由于污染表面引起的质量变化的方法,一种执行该方法的设备以及一种消除表面质量变化的具有表面修饰的质量的方法