公开/公告号CN105572068A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-05-11
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
申请/专利号CN201510960103.7
申请日2015-12-21
分类号G01N21/33(20060101);
代理机构22210 长春菁华专利商标代理事务所;
代理人王莹
地址 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号
入库时间 2023-12-18 15:07:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-31
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N21/33 申请公布日:20160511 申请日:20151221
发明专利申请公布后的视为撤回
2016-06-08
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/33 申请日:20151221
实质审查的生效
2016-05-11
公开
公开
机译: 支撑膜形成用组合物和用于在极紫外光下测量薄膜的吸收系数的测量方法
机译: 利用痕量气体的排气量测量方法
机译: 用于基于气体放电等离子体产生极紫外辐射的装置,其具有包括吹塑元件即凹槽的剥离器,并且在腿部处具有边界,使得剥离器是轴向可调节的,其中沿旋转方向形成凹槽