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一种SiC纤维表面的钛涂层的制备方法及装置

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本发明涉及一种SiC纤维表面的钛涂层的制备方法及装置，采用化学气相沉积(CVD)方法在SiC纤维表面制备一定厚度的钛涂层作为制备钛基复合材料的先驱丝。通过调节TiCl

著录项

公开/公告号CN105525272A

专利类型发明专利
公开/公告日2016-04-27

原文格式PDF
申请/专利权人西北工业大学;
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申请/专利号CN201510943507.5
发明设计人罗贤;杨延清;吴帅;刘帅;金娜;
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申请日2015-12-16
分类号C23C16/14;C23C16/44;C23C16/458;C22C47/04;
代理机构西北工业大学专利中心;
代理人王鲜凯
地址 710072 陕西省西安市友谊西路127号
入库时间 2023-12-18 15:42:00

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-07-10

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C16/14 申请公布日:20160427 申请日:20151216

发明专利申请公布后的视为撤回
2016-05-25

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/14 申请日:20151216

实质审查的生效
2016-04-27

公开

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