一种基于超表面的红外吸收型多气体浓度测量传感器

摘要

本发明涉及气体探测技术领域，尤其涉及一种基于超表面的红外吸收型多气体浓度测量传感器，包括气室、红外热辐射光源、起偏器、准平行光组件、异常反射式超表面和热释电探测器；所述红外热辐射光源设置在所述起偏器的入射端；所述准平行光组件的入射端与所述起偏器的出射端连接；所述准平行光组件的出射端伸入所述气室；所述异常反射式超表面设置于所述气室内；所述热释电探测器设置在所述气室上。本发明利用异常反射式超表面的分光特性，能够实现对多种气体的同时测量，结构简单，体积小，并且能够避免衍射光谱的级次重叠的问题，具有较高的测量精度。